Clarus氣相色譜儀壓力流量控制指標(biāo)
更新時間:2017-11-16 點擊次數(shù):1296
Clarus氣相色譜儀壓力流量控制指標(biāo)
Clarus氣相色譜儀壓力流量控制指標(biāo)
壓力、流量測量:指針式壓力表方式、電子壓力流量方式
全電子氣體壓力、流量測量系統(tǒng):單模塊zui大測量路數(shù):16路
EPC、EFC工作模式:3種;恒流模式、恒壓模式、分流模式
EPC、EFC工作氣體:4種;氮氣、氫氣、空氣、氦氣
EPC、EFC程升:4階
EPC、EFC控制量程:壓力:0~0.6Kpa;流量0~100sccm或0~500sccm(空氣);
Clarus氣相色譜儀輔助模塊:
1)進樣口包含載氣輔助模塊,兩個載氣區(qū)
2)所有進樣口可配置手動控制的輔助模塊
3)所有檢測器可配置手動控制的輔助模塊
Clarus氣相色譜儀進樣口:
1)可安裝分流/不分流進樣口和填充柱進樣口
2)可裝兩個進樣口
3)分流/不分流進樣口
4)工作溫度:50℃~450℃,1℃遞增
5)手動調(diào)節(jié)輔助模塊,壓力調(diào)節(jié)器0~60psi,數(shù)字顯示柱頭壓力